Silikonový kulatý plátek

Silikonový kulatý plátek

Tato řada silikonových kulatých plátků je pečlivě navržena tak, aby poskytovala nekompromisnístabilní geometriepotřebné pro bezproblémovéautomatizovaná manipulacev pokročilém slévárenském prostředí. Optimalizováno pro celé spektrum průměrů od2" (50 mm) až 12" (300 mm)jsou tyto substráty navrženy s vysoce-věrným profilováním hran, aby bylo zajištěno konzistentní mechanické zapojení během vysokorychlostních robotických přesunů a sekvencí vakuového upínání.

Precizní-kompatibilita zařízení:Každý plátek se řídí pevnými tolerancemi propřesná kulatosta konzistence průměru, což výrazně zlepšuje kompatibilitu se staršími 200mm nástroji a pokročilými 300mm automatizovanými clustery. Přísným dodržováním mezinárodních norem SEMI pro vrubové a ploché rozměry umožňuje substrát téměř okamžitou kalibraci nástroje, což snižuje mechanické prostoje.

Zjednodušený tok zpracování:Vynikající rozměrová stabilita podpěr plátků ahladký průběh zpracovánípřes nejintenzivnější fáze výroby. Minimalizací excentricity těžiště substrát snižuje rotační vibrace během odstřeďování s vysokými-otáčky a chemické{4}}mechanické planarizace (CMP), čímž zajišťuje rovnoměrnou tloušťku filmu po celém povrchu.

Minimální narušení zarovnání: Konzistentní rozměryjsou rozhodující pro zmenšení prostoruproblémy se zarovnánímpři více{0}}vrstvé fotolitografii. Stabilní tvarový faktor destičky zajišťuje, že značky globálního zarovnání zůstanou v dosahu snímání pokročilých skenerů, což přímo koreluje se zvýšenímwafer-úroveň výnosu (WLY)pro vysokou-hustotuPower IC a logikazařízení ve velkém-měřítkuprůmyslové výrobní linky.

Populární Tagy: silikonový kulatý plátek, Čína výrobci silikonového kulatého plátku, dodavatelé, továrna